射频溅射论文

磁控溅射WO_3薄膜性能研究

一、磁控溅射WO_3薄膜特性研究（论文文献综述）魏梦瑶,王辉,韩文芳,王红莉,苏一凡,唐春梅,代明江,石倩[1]（2021）在《中频磁控溅射制备氧化钨薄膜及电致变色性能研究》文...