等离子论文

脉冲磁滤阴极电弧沉积衬底级悬浮电位的研究

一、脉冲磁过滤阴极弧沉积中基片台悬浮电位研究（论文文献综述）李康[1]（2021）在《多弧离子镀膜机主要零部件优化设计与特性分析》文中研究表明何涛[2]（2018）在《磁过滤阴...